CNR Institutional Research Information System

Influence of PECVD parameters on the properties of diamond-like carbon films

D Caschera;P Cossari;F Federici;S Kaciulis;A Mezzi;G Padeletti;D Trucchi
2010
2010
Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati - ISMN
04.02 Abstract in Atti di convegno
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