CNR Institutional Research Information System

Characterization of RF sputtered InOx/SiNx thin films for gas sensing applications

S Kaciulis;
2008
2008
Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati - ISMN
Inglese
A.G. Mignani, R. Falciai, C. Di Natale, A. D'Amico
SENSORS AND MICROSYSTEMS
10th Italian Conference on Sensors and Microsystems
188
192
981-283-352-8
World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd.
Singapore
SINGAPORE
Sì, ma tipo non specificato
15-17 February 2006
Firenze
4
none
Fechete, Ac; Wlodarski, W; Kaciulis, S; Pandolfi, L
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/178129
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