Spectroscopic techniques can be used to estimate structural inhomogeneities in silicon oxide thin films.

Quantifying inhomogeneities in silicon-rich oxide thin films

Maurizio Ferrari
2013

Abstract

Spectroscopic techniques can be used to estimate structural inhomogeneities in silicon oxide thin films.
2013
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
SiOx; TOF-ERDA
EDX
XPS
IR absorption; ellipsometry
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