CNR Institutional Research Information System

A fabrication process for a silicon tunnel barrier with self-aligned gate

M Piotto
2005
2005
Istituto di Elettronica e di Ingegneria dell'Informazione e delle Telecomunicazioni - IEIIT
Inglese
Book of Abstracts of the 31st International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2005)
31st International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2005)
Sì, ma tipo non specificato
September 19-22, 2005
Vienna, Austria
1
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
G. Pennelli; M. Piotto
04.02 Abstract in Atti di convegno
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