E' stato messo a punto il complesso di passi tecnologici per la realizzazione di substrati per array di bolometri caratterizzati da strutture sospese a ponte fisicamente separate le une dalle altre. Per la loro realizzazione si è impiegata la tecnologia delle membrane multilayer ottenute dalla combinazione di materiali e spessori ottimizzati per la compensazione dello stress residuo. Il micromachinig del bulk ha previsto la messa a punto di un doppio attacco dal fronte e dal retro che ha dimezzato il tempo di esecuzione del passo di processo. Il processo permetterà di realizzare numerose tipologie di dispositivi differenziatisi per geometrie dimensioni e numero di pixel degli array di micro-bolometri. I dispositivi realizzati con tale processo saranno caratterizzati dal principale vantaggio di avere un ridottissimo cross talk tra i pixel essendo separati fisicamente.
Processo di fabbricazione di array di microbolometri
Elmi I;Cardinali GC;Zampolli S;Tamarri F;Severi M;Sanmartin M
2006
Abstract
E' stato messo a punto il complesso di passi tecnologici per la realizzazione di substrati per array di bolometri caratterizzati da strutture sospese a ponte fisicamente separate le une dalle altre. Per la loro realizzazione si è impiegata la tecnologia delle membrane multilayer ottenute dalla combinazione di materiali e spessori ottimizzati per la compensazione dello stress residuo. Il micromachinig del bulk ha previsto la messa a punto di un doppio attacco dal fronte e dal retro che ha dimezzato il tempo di esecuzione del passo di processo. Il processo permetterà di realizzare numerose tipologie di dispositivi differenziatisi per geometrie dimensioni e numero di pixel degli array di micro-bolometri. I dispositivi realizzati con tale processo saranno caratterizzati dal principale vantaggio di avere un ridottissimo cross talk tra i pixel essendo separati fisicamente.I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
