Messo a punto un metodo di misura sia elettrica che morfologica affidabile di SWNTs depositati mediante CCVD tra elettrodi di polisilicio drogato. Sono state disegnate e realizzate diverse geometrie di elettrodi che permettono di ricavare la resistenza del contatto polisilicio/CNT o metallo/CNT, separandone il contributo dalla caratteristica elettrica dei singoli CNTs depositati sugli elettrodi.

Metodo e sistema con nanomanipolatori per misure elettriche affidabili su CNTs cresciuti direttamente sugli elettrodi

Angelucci R;Rizzoli R;Veronese GP;
2007

Abstract

Messo a punto un metodo di misura sia elettrica che morfologica affidabile di SWNTs depositati mediante CCVD tra elettrodi di polisilicio drogato. Sono state disegnate e realizzate diverse geometrie di elettrodi che permettono di ricavare la resistenza del contatto polisilicio/CNT o metallo/CNT, separandone il contributo dalla caratteristica elettrica dei singoli CNTs depositati sugli elettrodi.
2007
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
nanomateriali
nanotubi di carbonio
nanostrutture
nanomanipolatori
misure elettriche a basso rumore su nanomateriali
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/183467
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