Completamento della costruzione di un sistema CVD con una camera a pareti raffreddate ed una a pareti calde che possono lavorare in 3 diversi regimi di pressione: atmosferica, ridotta (fino a 10-3 Torr) e bassa pressione (da 10-3 fino a 10-7 Torr) e che permette di depositare omogeneamente nanotubi di carbonio su substrati piatti di dimensioni massime di 25 cm2 o 40 cm2 a seconda della camera.
Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi
Rizzoli R;Angelucci R;Veronese G P;
2007
Abstract
Completamento della costruzione di un sistema CVD con una camera a pareti raffreddate ed una a pareti calde che possono lavorare in 3 diversi regimi di pressione: atmosferica, ridotta (fino a 10-3 Torr) e bassa pressione (da 10-3 fino a 10-7 Torr) e che permette di depositare omogeneamente nanotubi di carbonio su substrati piatti di dimensioni massime di 25 cm2 o 40 cm2 a seconda della camera.File in questo prodotto:
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