prototipi di microinterruttori in tecnologia MEMS basati su fotlitografia di polimeri e rimozine di strati sacrificali
Microinterruttori MEMS per applicazioni RF in tecnologia polimerica
Marcelli R;Lucibello A;Proietti E
2010
Abstract
prototipi di microinterruttori in tecnologia MEMS basati su fotlitografia di polimeri e rimozine di strati sacrificaliFile in questo prodotto:
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