A partire dal flusso di processo per la realizzazione di singoli rivelatori SPAD al silicio, sono stati progettate matrici di 60 SPAD per applicazioni di ottica adattiva nel visibile. La matrice di SPAD realizzata è robusta e consente una facile integrazione con il sistema ottico.
Sviluppo di matrici monolitiche di SPAD
Maccagnani Piera;Tamarri fabrizio;Sanmartin Michele;
2005
Abstract
A partire dal flusso di processo per la realizzazione di singoli rivelatori SPAD al silicio, sono stati progettate matrici di 60 SPAD per applicazioni di ottica adattiva nel visibile. La matrice di SPAD realizzata è robusta e consente una facile integrazione con il sistema ottico.File in questo prodotto:
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