Sono stati progettati e realizzati prototipi di rivelatori SPAD con elevata area attiva (diametro di 100, 200 e 300um). Il flusso di processo tecnologico è stato studiato in modo da ottenere dispositivi grandi ma con prestazioni confrontabili con quelle di rivelatori ad area minore.
Realizzazione di rivelatori SPAD con grande area attiva
Maccagnani Piera;Tamarri Fabrizio;Negrini Paolo;Sanmartin Michele
2006
Abstract
Sono stati progettati e realizzati prototipi di rivelatori SPAD con elevata area attiva (diametro di 100, 200 e 300um). Il flusso di processo tecnologico è stato studiato in modo da ottenere dispositivi grandi ma con prestazioni confrontabili con quelle di rivelatori ad area minore.File in questo prodotto:
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