E' stata progettata e realizzata una matrice monolitica contenente 48 rivelatori SPAD con diametro di 50micron per applicazioni in ambito biologico. Le prestazioni dei rivelatori e i relativi parametri caratteristici sono buone e molto uniformi all'interno della matrice, indice di un processo tecnologico assestato, che garantisce una buona riproducibilità delle prestazioni.

Realizzazione di matrici monolitiche di rivelatori SPAD

Maccagnani Piera;Tamarri fabrizio;Sanmartin Michele;
2007

Abstract

E' stata progettata e realizzata una matrice monolitica contenente 48 rivelatori SPAD con diametro di 50micron per applicazioni in ambito biologico. Le prestazioni dei rivelatori e i relativi parametri caratteristici sono buone e molto uniformi all'interno della matrice, indice di un processo tecnologico assestato, che garantisce una buona riproducibilità delle prestazioni.
2007
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
SPAD
SPAD array
fluorescence detection
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/195675
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