Si sono realizzate membrane costituite da reti dense di SWNTs sospese su fori microlavorati in substrati di LTO/Si. Il processo di realizzazione comprende la deposizione C-CVD controllata di reti di SWNTs di diversa densità su membrane di LTO in wafer di Si e successivo attacco delle membrane di LTO.

Realizzazione di membrane sospese su fori passanti in LTO / Si costituite da reti di SWNTs ad alta densità

RRizzoli;
2010

Abstract

Si sono realizzate membrane costituite da reti dense di SWNTs sospese su fori microlavorati in substrati di LTO/Si. Il processo di realizzazione comprende la deposizione C-CVD controllata di reti di SWNTs di diversa densità su membrane di LTO in wafer di Si e successivo attacco delle membrane di LTO.
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Italiano
membrane sospese
SWNT
nanotubi di carbonio a parete singola
2
R.Rizzoli; G.P.Veronese
05 Altro::05.12 Altro
info:eu-repo/semantics/other
none
298
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/195690
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