dispositivi in configurazione coplanare e micro-interruttori ottenuti con processi di fotolitografia e rimozione di strati sacrificali, accompagnati dall' utilizzazione di ossidi e materiali polimerici.
Realizzazione di micro-interruttori e strutture in configurazione coplanare per trattamento del segnale RF e Microonde
Lucibello A;Proietti E;Bartolucci G;Marcelli R
2010
Abstract
dispositivi in configurazione coplanare e micro-interruttori ottenuti con processi di fotolitografia e rimozione di strati sacrificali, accompagnati dall' utilizzazione di ossidi e materiali polimerici.File in questo prodotto:
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