Facility messa a punto per la caratterizzazione di RF MEMS utilizzando sollecitazioni parametriche per la definizione di un protocollo di affidabilità dei componenti, sia per applicazioni spaziali che terrestri.

Messa a punto di una facility per caratterizzazione di RF MEMS

Lucibello A;Proietti E;Bartolucci G;Marcelli R
2010

Abstract

Facility messa a punto per la caratterizzazione di RF MEMS utilizzando sollecitazioni parametriche per la definizione di un protocollo di affidabilità dei componenti, sia per applicazioni spaziali che terrestri.
2010
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Misure on-wafer
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RF MEMS
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/196343
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