CNR Institutional Research Information System

Development of EUV silicon/molibdenum multilayer mirrors produced by RF-Magnetron sputtering

Pelizzo M;
2001
2001
INFMeeting
none
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Patelli A; Pelizzo M; P. Nicolosi; V. Rigato; P. Mazzoldi; G. Mattei; G. Tondello L. Depero; E. Bontempi; G.Maggioni
275
04 Contributo in convegno::04.03 Poster in Atti di convegno
1
04.03 Poster in Atti di convegno
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