CNR Institutional Research Information System

Damage evolution in implanted silicon by pulsed excimer laser annealing

Fisicaro G;La Magna A;Privitera V;
2009
2009
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
978-1-4244-3815-0
04.01 Contributo in Atti di convegno
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