We report the design and numerical evaluation of a ultra-compact, 2.7 ?m long 1 ?m wide sensor, based on a silicon on insulator photonic crystal micromachined at the submicron scale.
Sensore fotonico ultracompatto basato su cristallo fotonico di silicio
R Beccherelli;
2008
Abstract
We report the design and numerical evaluation of a ultra-compact, 2.7 ?m long 1 ?m wide sensor, based on a silicon on insulator photonic crystal micromachined at the submicron scale.File in questo prodotto:
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