Optimum non-selective etching solutions for obtaining GaAs membranes have been studied.

Dielectric and Semiconductor Membranes as Support for Lumped Elements and Coplanar Waveguides

R Marcelli;
1997

Abstract

Optimum non-selective etching solutions for obtaining GaAs membranes have been studied.
1997
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
GaAs
Micromachining
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/202309
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact