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Optimum non-selective etching solutions for obtaining GaAs membranes have been studied.

Dielectric and Semiconductor Membranes as Support for Lumped Elements and Coplanar Waveguides

R Marcelli;
1997

Abstract

Optimum non-selective etching solutions for obtaining GaAs membranes have been studied.
1997
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
Editor: A. G. R. Evans
Proceedings of the 8th Micromechanics Europe Workshop, MME'97
8th Micromechanics Europe Workshop, MME'97
59
62
4
http://books.google.it/books/about/Papers_from_the_8th_Workshop_on_Micromac.html?id=ryWIPgAACAAJ&redir_esc=y
Sì, ma tipo non specificato
August 31 - September 2, 1997
Southampton, England
GaAs
Micromachining
9
none
Müller, A; Marcelli, R; Petrini, I; Avramescu, V; Iordanescu, S; Petrocco, S; Scopa, L; Risi, C; Vasilache, D
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/202309
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