CNR Institutional Research Information System

Damage of multilayer optics with varying capping layers induced by focused extreme ultraviolet radiation

2013
2013
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
113
20
203106-1
203106-6
3
info:eu-repo/semantics/article
262
Corso, AJ Corso, Alain Jody , ; Zuppella, P Zuppella, Paola ; Barkusky, F Barkusky, Frank , ; Mann, K Mann, Klaus ; Muller, M Mueller, Matthias ...espandi
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