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Characterization of Si/B4C multilayer coatings at extreme ultraviolet spectral region

F Frassetto;Pelizzo M;
2005
2005
Matter, Materials and Devices MMDMeeting
7
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
Frassetto, F; Garoli, D; Monaco, G; Nicolosi, P; Pelizzo, M; Matterello, V; Rigato, V
04.02 Abstract in Atti di convegno
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