A compositional TEM study of TiSi2 metal layers deposited on silicon

Balboni R;
2001

2001
Inglese
PROCEEDINGS OF THE 5TH MULTINATIONAL CONGRESS ON ELECTRON MICROSCOPY
5th Multinational Congress on Electron Microscopy
325
326
2
1-58949-003-7
Rinton Press
Princeton
STATI UNITI D'AMERICA
Sì, ma tipo non specificato
SEP 20-25, 2001
LECCE, ITALY
2
none
Wang TS.; Benedetti A.; Cullis AG.; Armigliato A.; Balboni R.; Frabboni S.; Pavia G.
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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