Advanced gate stack architecture for excimer laser annealing integration in power MOS fabrication

G Fortunato;L Mariucci;M Cuscunà;A La Magna;
2006

2006
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
89
2
info:eu-repo/semantics/article
262
G. Fortunato; L. Mariucci;M. Cuscunà; V. Privitera; A. La Magna; C. Spinella; Magrì; M. Camalleri;D. Salinas; F. Simon; B. Svensson;E. Monakhov...espandi
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