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Electron energy distribution functions and rate and transport coefficients of H2/H/CH4 reactive plasmas for diamond film deposition

Capitelli M;Colonna G;
1996
1996
16
2
153
171
Sì, ma tipo non specificato
5
info:eu-repo/semantics/article
262
Capitelli, M; Colonna, G; Hassouni, K; Gicquel, ; A,
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