Deposition and etching of fluorocarbon thin films in atmospheric pressure DBDs fed with Ar-CF4-H2 and Ar-CF4-O2 mixtures
Fiorenza Fanelli;Francesco Fracassi;Riccardo d'Agostino
2010
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.