Micromachined membranes enhance electrical performance of several types of microwave passive devices, compared to equivalents on bulk GaAs.

Dielectric Membrane Support

R Marcelli;L Scopa;C Risi;
1997

Abstract

Micromachined membranes enhance electrical performance of several types of microwave passive devices, compared to equivalents on bulk GaAs.
1997
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Micromachining
Microwaves
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