CNR Institutional Research Information System

Calibration of FIB parameters for the processing of semiconducting devices

M Catalano;A Taurino;M Lomascolo;
2005
2005
Inglese
M. ?eh, G Drazic, S Fidler
Proceedings 7th Multinational Congress on Microscopy
7th Multinational Congress on Microscopy
207
208
961-6303-69-4
Sì, ma tipo non specificato
June 26-30, 2005
Portoroz
3
none
M. Catalano; A. Taurino; M. Lomascolo; A. Schertel; A. Orchowski
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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