First realization and characterization of multilayer EUV reflective coatings

MG Pelizzo;L Poletto;
2001

2001
Istituto di fotonica e nanotecnologie - IFN
Soft X-Ray and EUV Imaging Systems II
SPIE Optics and Photonics 2001
75
83
8
none
Pelizzo, Mg; Nicolosi, P; Rigato, V; Patelli, A; Maggioni, G; Poletto, L; Mazzoldi, P; Tondello, G
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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