CNR Institutional Research Information System

Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography

Grenci Gianluca;Sovernigo Enrico;Prasciolu Mauro;Tormen Massimo
2014
2014
Istituto Officina dei Materiali - IOM -
LIGA
Front-light display
LED
X-ray lithography
Electroplating
01.01 Articolo in rivista
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/246577
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact