CNR Institutional Research Information System

Microfabrication of sharp blazed gratings by a two-step height amplification process based on soft and deep X-ray lithography

Grenci Gianluca;Sovernigo Enrico;Prasciolu Mauro;Tormen Massimo
2014
2014
Istituto Officina dei Materiali - IOM -
LIGA
Front-light display
LED
X-ray lithography
Electroplating
01.01 Articolo in rivista
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