CNR Institutional Research Information System

Influence of the implanted species on the residual damage after hot implants in silicon

C Spinella;
1988
1988
Inglese
Fall meeting of MRS
128
581
586
6
Sì, ma tipo non specificato
November 28 - December 3, 1988
Boston, MA
1
none
L. Calcagno; C. Spinella; M. Catania; S.U. Campisano; G. Foti; G. Ferla; E. Rimini
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/248585
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