Damage accumulation and annealing in ion irradiated silicon

C Spinella;
1990

1990
Inglese
ATWATER HA, HOULE FA, LOWNDES DH
MRS SYMP ON SURFACE CHEMISTRY AND BEAM-SOLID INTERACTIONS
201
345
356
12
1-55899-093-3
Sì, ma tipo non specificato
NOV 26-29, 1990
Boston, MA
4
none
Priolo, F; Battaglia, A; Spinella, C; Rimini, E
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
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