Manufacturing self-assembled block copolymer film involves distributing first solution containing block copolymer onto substrate to partially coat substrate surface and self-assembling block copolymer by heating first intermediate product

PEREGO M;SEGUINI G;FERRARESE LUPI F
2014

2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/248815
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