CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Role of point defects on B diffusion in Ge

Bruno Elena;Priolo Francesco
2012

Abstract

[object Object]
2012
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Boron
Diffusion
Germanium
Ion implantation
Point-defects
01.01 Articolo in rivista
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