CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Role of point defects on B diffusion in Ge

Bruno Elena;Priolo Francesco
2012

Abstract

[object Object]
2012
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Inglese
15
6
656
668
2-s2.0-84870062917
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84870062917&origin=inward
Boron
Diffusion
Germanium
Ion implantation
Point-defects
2
info:eu-repo/semantics/article
262
Scapellato, Giorgia G.; Bruno, Elena; Priolo, Francesco
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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