La possibilità di ottenere film sottili di elevata qualità in termini di purezz chimica e perfezione strutturale ha fatto da base e da stimolo per lo sviluppo di molte tecnologie avanzate (elettronica, meccanica, energetica etc). E' ovvio che una notevole attenzone è stata dedicata dalla ricerca alla messa a punto dei metodi di produzione di tali film, in particolare a quelli basati sulla deposizione da fase vapore. Tra questi l'ALD (Atomic Layer Deposition) è in una fase di grande sviluppo grazie ai risultati ottenuti e alle prospettive.....
La tecnica ALD per la produzione di film sottili
Zanella P;Rossetto G;Rizzo L
2009
Abstract
La possibilità di ottenere film sottili di elevata qualità in termini di purezz chimica e perfezione strutturale ha fatto da base e da stimolo per lo sviluppo di molte tecnologie avanzate (elettronica, meccanica, energetica etc). E' ovvio che una notevole attenzone è stata dedicata dalla ricerca alla messa a punto dei metodi di produzione di tali film, in particolare a quelli basati sulla deposizione da fase vapore. Tra questi l'ALD (Atomic Layer Deposition) è in una fase di grande sviluppo grazie ai risultati ottenuti e alle prospettive.....File in questo prodotto:
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