CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch

Marasso Simone Luigi;Cocuzza Matteo;
2014

Abstract

[object Object]
2014
Inglese
WOS:000343364400029
119
137
140
2-s2.0-84899640164
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84899640164&origin=inward
Sì, ma tipo non specificato
MEMS
Microcantilever
Microswitch
PZT
10
info:eu-repo/semantics/article
262
Tommasi, A; Coletta, G; Balma, Davide; Marasso, SIMONE LUIGI; Perrone, Denis; Canavese, Giancarlo; Stassi, Stefano; Bianco, Stefano; Cocuzza, Matteo; ...espandi
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