CNR Institutional Research Information System

Use of different sensing materials and deposition techniques for thin film sensors to increase sensitivity and selectivity

Zampolli S;Dori L;Severi M
2003
2003
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
3
454
459
Sì, ma tipo non specificato
Microsensori
ossidi metallici semiconduttori
pulsed laser ablation
I sensori per gas basati su film sottili di ossidi metallici semiconduttori sono generalmente caratterizzati da alti livelli di sensibilità ai gas. Purtroppo la bassa selettività, l’interferenza dovuta a variazioni dell’umidità relativa nonché il drift che si manifesta già a breve termine ne rendono problematico l’utilizzo all’interno di applicazioni real-world. In questo lavoro, particolare attenzione è stata rivolta allo studio dei fenomeni di drift a medio-lungo termine nonché alle interferenze. La notevole diminuzione del drift ottenuta con i materiali misti è ritenuta di fondamentale importanza per gli sviluppi futuri dei materiali sensibili presso l’IMM Bologna.
2
info:eu-repo/semantics/article
262
Nicoletti S; Zampolli S; Elmi I; Dori L; Severi M
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/28768
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