CNR Institutional Research Information System

[object Object]

A study of the mechanical vibrations of a table-top extreme ultraviolet interference nanolithography tool

Zuppella Paola;
2010

Abstract

[object Object]
2010
Inglese
81
4
2-s2.0-77952406654
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-77952406654&origin=inward
5
info:eu-repo/semantics/article
262
Prezioso, Stefano; De Marco Patrizia, P; Zuppella, Paola; Santucci Sandro, C; Ottaviano, Luca
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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