[object Object]

Use of radio frequency power, silicon tetrafuoride and methane as parameters to tune structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon carbon alloys

Ruggeri Rosa;
2014

Abstract

[object Object]
2014
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Crystallinity
Methane
RF power
Silicon carbon alloys
Silicon tetrafuoride
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/293712
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 3
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact