CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Low temperature growth of r.f. reactively planar magnetron-sputtered AlN films

Verona Enrico
1995

Abstract

[object Object]
1995
Inglese
259
2
154
162
2-s2.0-0029288587
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-0029288587&origin=inward
Aluminium nitride
Sputtering
X-ray diffraction
X-ray photoelectron spectroscopy
1
info:eu-repo/semantics/article
262
Penza, Michèle; De Riccardis, Maria Federica; Mirenghi, Luciana; Tagliente, Maria Antonella; Verona, Enrico
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none
01.01 Articolo in rivista
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