CNR Institutional Research Information System

[object Object]

Cavities at the Si projected range by high dose and energy Si ion implantation in Si

Canino M;
2009

Abstract

[object Object]
2009
Inglese
159-160
C
153
156
2-s2.0-67349265176
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-67349265176&origin=inward
Sì, ma tipo non specificato
Cavity growth
PAS
Silicon
SIMS
TED
XTEM
8
info:eu-repo/semantics/article
262
Canino, M; Regula, G; Lancin, M; Xu, M; Xu, M; Pichaud, B; Ntzoenzok, E; Barthe, M F
01 Contributo su Rivista::01.01 Articolo in rivista
none
01.01 Articolo in rivista
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