La tecnologia dei microsistemi sta vivendo un proficuo momento a livello di ricerca e sviluppo ed il suo impatto in numerosi settori dell'ingegneria si preannuncia di rilevante interesse soprattutto per il fatto che essa è caratterizzata da facile accessibilità ma anche per la circostanza che essa, data la sua intrinseca flessibilità, è in grado di soddisfare esigenze di prodotti innovativi anche molto diversificati tra loro. Un microsistema può essere definito come una struttura derivante dall'integrazione spaziale di microdispositivi, microsensori, microattuatori e strutture di preprocessing includenti, ove necessario, le azioni tipiche del controllo avanzato lineare e/o non lineare. Tale integrazione può consentire il progetto e la produzione di sistemi intelligenti dotati di elevata e controllabile flessibilità. Attualmente la tecnologia dei microsistemi è principalmente legata allo sviluppo delle tecnologie microelettroniche anche se non ne utilizza le più recenti ed avanzate proiezioni in quanto, almeno per il momento, non sono necessarie.
Il silicio: Tecniche di integrazione e micromachining
A Bearzotti;
1994
Abstract
La tecnologia dei microsistemi sta vivendo un proficuo momento a livello di ricerca e sviluppo ed il suo impatto in numerosi settori dell'ingegneria si preannuncia di rilevante interesse soprattutto per il fatto che essa è caratterizzata da facile accessibilità ma anche per la circostanza che essa, data la sua intrinseca flessibilità, è in grado di soddisfare esigenze di prodotti innovativi anche molto diversificati tra loro. Un microsistema può essere definito come una struttura derivante dall'integrazione spaziale di microdispositivi, microsensori, microattuatori e strutture di preprocessing includenti, ove necessario, le azioni tipiche del controllo avanzato lineare e/o non lineare. Tale integrazione può consentire il progetto e la produzione di sistemi intelligenti dotati di elevata e controllabile flessibilità. Attualmente la tecnologia dei microsistemi è principalmente legata allo sviluppo delle tecnologie microelettroniche anche se non ne utilizza le più recenti ed avanzate proiezioni in quanto, almeno per il momento, non sono necessarie.I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
