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This chapter discusses the potential of XPS and SAM techniques in the study of semconductors and microelectronic devices

Microelectronics and semiconductors

Paparazzo E
1998

Abstract

This chapter discusses the potential of XPS and SAM techniques in the study of semconductors and microelectronic devices
1998
Inglese
J.C. Rivière and S. Myhra
Handbook of Surface and Interface Analysis
485
541
56
0-8247-0080-5
Marcel Dekker, Inc.
New York
STATI UNITI D'AMERICA
Sì, ma tipo non specificato
XPS
SAM
Semiconductors
1
02 Contributo in Volume::02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
268
none
Paparazzo E.
info:eu-repo/semantics/bookPart
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/404223
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