CNR Institutional Research Information System

Aluminium Nitride nanostructures deposited by rf magnetron sputtering

F Di Pietrantonio;M Fosca;M Benetti;JV Rau
2019
2019
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto di Struttura della Materia - ISM - Sede Roma Tor Vergata
aluminium nitride nanostructures
rf magnetron sputtering
superhard rhodium boride films
04.02 Abstract in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/408095
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