CNR Institutional Research Information System

Aluminium Nitride nanostructures deposited by rf magnetron sputtering

F Di Pietrantonio;M Fosca;M Benetti;D Cannatà;JV Rau
2019
2019
Istituto per la Microelettronica e Microsistemi - IMM
Istituto di Struttura della Materia - ISM - Sede Roma Tor Vergata
Inglese
European Congress and Exhibition on Advanced Materials and Processes. EUROMAT-2019
Sì, ma tipo non specificato
1-5 September 2019
Stockholm, Sweden
aluminium nitride nanostructures
rf magnetron sputtering
superhard rhodium boride films
5
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
none
274
04 Contributo in convegno::04.02 Abstract in Atti di convegno
F. Di Pietrantonio; M. Fosca; M. Benetti; D. Cannatà; C. Verona; R. Teghil; A. De Bonis;J.V. Rau.
04.02 Abstract in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/408095
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