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Subtracting technologies: Unconventional Nanolithography

Subtracting technologies: Unconventional Nanolithography

Gentili Denis
;Cavallini Massimiliano
2020

Abstract

Subtracting technologies: Unconventional Nanolithography
2020
Istituto per lo Studio dei Materiali Nanostrutturati - ISMN
Inglese
Denis Gentili, Massimiliano Cavallini
Advances in Nanostructured Materials and Nanopatterning Technologies
65
79
15
9780128168653
http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-85142030559&origin=inward
Elsevier
Amsterdam
PAESI BASSI
Nanofabrication patterning
Subtractive lithography
Unconventional lithography
2-s2.0-85142030559
2
02 Contributo in Volume::02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
268
restricted
Gentili, Denis; Cavallini, Massimiliano
info:eu-repo/semantics/bookPart
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