È stata progettata e integrata una glove box specificamente pensata per l'impianto di crescita di film sottili utilizzando la tecnica di Pulsed Laser Deposition (PLD). Questo dispositivo permette di prevenire il contatto con polveri pericolose durante il processo di deposizione, garantendo un ambiente sicuro e controllato per la manipolazione dei materiali. L'integrazione della glove box nell'impianto PLD ottimizza la sicurezza e la qualità dei film sottili prodotti, riducendo il rischio di contaminazione e migliorando l'efficienza del processo produttivo.
Integrazione di una Glove Box Progettata su Misura in un Impianto PLD per la Crescita Sicura di Film Sottili
Paolo Massimiliano Latino
;Fabrizio Corvasce
2022
Abstract
È stata progettata e integrata una glove box specificamente pensata per l'impianto di crescita di film sottili utilizzando la tecnica di Pulsed Laser Deposition (PLD). Questo dispositivo permette di prevenire il contatto con polveri pericolose durante il processo di deposizione, garantendo un ambiente sicuro e controllato per la manipolazione dei materiali. L'integrazione della glove box nell'impianto PLD ottimizza la sicurezza e la qualità dei film sottili prodotti, riducendo il rischio di contaminazione e migliorando l'efficienza del processo produttivo.File in questo prodotto:
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