Descrizione di un applicativo VBA che calcola automaticamente lo sputtering yield secondo le formule di Yamamura & Matsunami per alcuni ioni (sia nel caso di incidenza normale che obliqua)

Descrizione di un applicativo VBA per l’automatizzazione del calcolo dello sputtering yield secondo le formule di Yamamura, Matsunami et alt

De Vecchi L.
;
Ghezzi F.
2025

Abstract

Descrizione di un applicativo VBA che calcola automaticamente lo sputtering yield secondo le formule di Yamamura & Matsunami per alcuni ioni (sia nel caso di incidenza normale che obliqua)
2025
Istituto per la Scienza e Tecnologia dei Plasmi - ISTP
Yamamura
Matsunami
Leis
Sputtering yield
File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
Yamamura_def.pdf

solo utenti autorizzati

Descrizione: Rapporto tecnico pubblicato
Tipologia: Versione Editoriale (PDF)
Licenza: Dominio pubblico
Dimensione 1.52 MB
Formato Adobe PDF
1.52 MB Adobe PDF   Visualizza/Apri   Richiedi una copia

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/530953
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact