CNR Institutional Research Information System

Microtribological investigations on fluorocarbon thin films deposited in continuous and modulated C2F4 RF glow discharges

F Palumbo;
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
16th International Symposium on Plasma Chemistry
Sì, ma tipo non specificato
Taormina
7
none
Bregliozzi, G; Milella, A; Ahmed, I; Palumbo, F; Favia, P; Dagostino, R; Haefke, H
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
04 Contributo in convegno::04.01 Contributo in Atti di convegno
04.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/20.500.14243/53744
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