CNR Institutional Research Information System

GC-MS investigation of glow discharges fed with hexamethylkdisiloxane-O2 for PECVD of SIOX thin films

R d'Agostino;F Fanelli;F Fracassi;F Palumbo
2003
2003
Istituto di Nanotecnologia - NANOTEC
04.01 Contributo in Atti di convegno
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